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特種氣體供氣系統

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半導體行業:特種氣體供氣系統
——SLIAN專用PLC在芯片生産線供氣系統中的應用
項目概述:
本次工程主要是對無錫華潤晶芯半導體有限公司6“線35個氣櫃晶芯盤面做電控部分的改造
控制說明:
    1.氣櫃能夠按照程式實現氣體自動供氣和更換鋼瓶的自動确認,在實施過程中途徑将變成藍色、相應被打開的氣動閥将變成紅色;
    2.左鋼瓶和右鋼瓶能夠瞬時實現自動切換;
    3.如左鋼瓶在供氣時,右鋼瓶可以進行自動或者手動更換鋼瓶的操作、同時可以進行手動的鋼瓶維護操作;
    4.進入更換鋼瓶操作和系統參數設置需加不同等級的密碼,确保系統安全;
    5.觸摸屏能顯示不同操作的畫面,便于系統報警點和其他參數的設定;
    6.外界毒氣洩漏輸入應引起氣櫃關閉;
    7.系統需有外部緊急遮斷功能“EMO”;
    8.系統有“ESO”功能,确保觸摸屏死機或損壞時系統能在當前狀态,系統還能保持供氣狀态;
    9.英文提示。
結束語:
系統可靠的實現了上述控制要求,并且長時間運行穩定良好。